精密 XY 運(yùn)動(dòng)平臺，滿足高速、高加速、高精度的產(chǎn)品定制需求，適用于LED封裝檢測、玻璃片檢測、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢測、三維形貌等。
定制品，可根據(jù)客戶需求定制。
采用超靜音耐腐蝕交叉滾柱導(dǎo)軌，有效保證運(yùn)動(dòng)精度和直線性，使用性能更加優(yōu)異
無鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，光柵尺編碼反饋
X、Y 微米級重復(fù)定位精度，重復(fù)定位精度±1μm
獨(dú)特裝配工藝要求，保證產(chǎn)品一致性
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